热蒸发镀膜是一种常用的物理气相沉积(PVD)技术,广泛应用于光学、电子、太阳能、装饰等领域。
这种技术通过将物质加热至蒸发温度,并使蒸发后的原子或分子在基材表面凝结形成薄膜的过程。
工作原理:
热蒸发镀膜的基本原理是利用高温加热源(如钨丝、镍丝等)将待镀物质加热至蒸发温度,形成蒸汽流。
这些蒸汽分子被导向基材表面,冷凝成薄膜。
热蒸发的物质通常为金属、合金、氧化物或其他材料,基材可以是玻璃、塑料、金属等。
主要设备:
蒸发源:主要由电加热的钨丝或金属槽组成,用于加热待蒸发的物质。
真空腔体:为了防止蒸发过程中分子与空气发生反应,镀膜通常在真空环境中进行。
基材支架:承载待镀膜的物品,并可以在真空室内旋转,以确保镀膜的均匀性。
冷凝表面:接收蒸发的物质,通常与基材表面平行,帮助形成薄膜。
优势:
均匀性高:在良好的真空环境下,热蒸发镀膜能够实现均匀的薄膜涂层。
高质量膜层:蒸发薄膜的结构紧密,具有良好的光学、电气及机械性能。
适用材料广泛:可以用于金属、氧化物、硅、氮化物等多种材料的镀膜。
灵活性强:可以调节蒸发温度、沉积速率等工艺参数,满足不同应用需求。
热蒸发镀膜
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